他也看過一些比較“水”的論文，但是都只是新瓶裝舊酒，翻來覆去的說一些廢話，但是傷其實沒多。

但是在看了佐藤健一郎昨天的論文，將那些看似完的公式，那些令人驚歎的資料，一點點拆解、分析之後，他發現這個論文不僅僅是那一個數據有問題，那種不和諧，更像是貫穿始終的患。

短短十分鐘，他就己經標註出了5個明顯的錯誤。

除了昨天發現的刻膠收率修正係數錯誤之外，還有2個公式推導錯誤，1個實驗資料造假，與實驗條件不匹配，1個邏輯。

其中，最嚴重的就是那個邏輯。

佐藤健一郎的正則化框架，核心是解決EUV刻中的像差和失真問題，但他在建立模型時，竟然忽略了雜散的干擾。

要知道，雜散會導致電路圖案邊緣模糊，影響晶片的度和良率，這可是EUV刻中一個極其關鍵的因素。

忽略了這個因素，他的整個模型就失去了實際應用價值，所謂的“完解決誤差問題”“良率突破95%”，也只是空中樓閣，純屬空談。

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