顧贇激地站起來：“我這就寫報告，向所領導申請立項！不，我直接去找所長，今天下午就開協調會！”

這時，呂辰想起一件事：“關於溫度控制……我們紅星所正在研發‘紅外測溫’技，可以非接式測量表面溫度，度很高，響應速度快。”

他頓了頓，語氣變得謹慎：“但這項技，目前還於保階段，主要面向國防和重點工業應用。”

顧贇立刻明白：“我懂。我會以真空所名義，正式向紅星所提出技協作申請，走正規渠道，報上級批准。如果‘紅外測溫’能用到我們的沉積系統上，實現線上監測基片表面真實溫度，那將是革命的進步！”

會議氣氛熱烈起來，三方人員圍在黑板前，你一言我一語，討論技細節、分工方案、時間節點。

呂辰看著這些眼睛發亮的研究人員，心中慨。

他們此刻討論的，還只是一些簡陋的輔助裝置、糙的資料採集系統。

但在未來，這些嘗試將催生出中國的第一代半導工藝裝置，從手控制的CVD爐，到半自的澱積系統，再到完全計算機控制的叢集式薄生長裝置。

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