在南方學裡，徐申學看到了他們的先進第五代COMS測的產線，同時也看到了他們還在實驗室裡的第六代COMS測的樣品。

當然更重要的還是看了他們的刻機鏡片生產線！

這個刻機鏡片的生產線，和常規工業產品的廠房是有巨大差異的。

徐申學所看到的是更像是實驗室一樣的生產車間，裡頭有著大量的頂級的裝置，並且整個生產環境都是屬於高度無塵環境。

南方學的負責人解釋道：“車間裡生產的是EUV刻機使用的鏡片，其平面度非常高，空氣裡隨便一粒灰塵落在上面，都意味著超高度的鏡片上出現了一座‘大山’，為了製造這種鏡片，必須在超潔無塵環境下進行！”

“現在這個車間生產的鏡片，是用於HEUV-300B刻機的主鏡片，鏡面直徑達到一米，但是表面糙度只有三十五皮米，而面度，即峰值與谷值的差值只有0.15奈米。”

“也只有這種平整度的鏡片，才能夠鏡收集極紫外源，最後產生穩定的13.5奈米的極紫外束用於曝生產！”

“為了達到這種超高度，我們在材料上使用了總公司材料研究院研發的XHJ14鉬/矽複合材料，足以反極紫外不吸收，同時在加工上，我們過採用離子束拋為主，再輔以磁流變拋等多種拋技，過多種不同的拋工藝相互結合，逐步平整鏡片，最後達到了設計要求！”

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