各種特種氣的況也和刻膠比較類似,低製程工藝裡的特種氣基本都能自行解決,但是用於更高工藝製程的就有些欠缺了。
目前仙山控旗下的各半導裝置以及原材料企業,在原有國基礎工業的基礎上,搞起來130奈米節點的各項基礎產業鏈問題不大,以刻機為代表的裝置,刻膠為代表的好菜已經陸續開始商用,數不能商用的也備了大規模生產並應用的能力,只是問題比較多而已。
這也是智雲微電子那邊可以說,在130奈米工藝節點以上,已經備了全面自產能力的緣故,因為從裝置到耗材都不需要再進口,都可以在國找到供應鏈企業提供。
但是六十五奈米工藝節點的話,則是還欠缺了許多,唯一做的比較好的就是技含量偏低的後道刻機了,其他的基本都於半吊子的狀態。
至於六十五奈米工藝以下節點,也就是DUV浸潤式刻機為代表的當下最先進的晶片生產線,只有後道刻機可以自產的,其他的從裝置到耗材,都得清一進口。
這樣的晶片生產線,哪怕是智雲微電子已經突破了四十五奈米工藝,同時三十二奈米工藝也已經在梁松以及吳德義的帶領下取得了巨大的突破,目前已經開始進行各種測試,有在三月份的時候搞定。
然而依舊無法給徐申學帶來毫的安全……整個晶片生產線那麼多裝置以及耗材,國人閉著眼睛隨便封鎖一種裝置,就能夠導致智雲微電子無法繼續新建新的晶圓廠。
隨便卡著一種耗材,智雲微電子已經投資一百多億金的建以及在建的十二寸晶圓廠的四十五奈米工藝以及以下工藝的生產線,都得為一堆廢銅爛鐵。
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